螺桿真空泵通過一對非對稱螺桿轉(zhuǎn)子的相向運(yùn)動，周期性改變齒間容積，從而實(shí)現(xiàn)輸送氣體、達(dá)到抽氣的目的。其主要結(jié)構(gòu)包括螺桿轉(zhuǎn)子、軸承、泵體、密封等，一般是雙螺桿結(jié)構(gòu)。形式上，螺桿真空泵有臥式和立式之分；依據(jù)螺桿轉(zhuǎn)子型線的不同，又可分為單頭螺桿式真空泵與多頭螺桿式真空泵。
 

　　工作原理：
 

　　螺桿真空泵的工作原理與螺桿式壓縮機(jī)類似。工作時，陽轉(zhuǎn)子按逆時針方向旋轉(zhuǎn)，陰螺桿按順時針方向旋轉(zhuǎn)。上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。隨著轉(zhuǎn)子開始轉(zhuǎn)動，由于齒的一端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積，齒間容積的擴(kuò)大在其內(nèi)部形成了一定的真空，而此齒間容積又僅與吸氣口連通，因此氣體便在壓差作用下流入其中。在隨后的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)過程中，陽轉(zhuǎn)子齒不斷從陰轉(zhuǎn)子齒的齒槽中脫離出來，齒間容積不斷擴(kuò)大，并與吸氣孔口保持連通，直至吸氣過程結(jié)束。此時，齒間容積達(dá)到最大值，并與吸氣孔口斷開。隨后，齒間容積由于轉(zhuǎn)子齒的嚙合而不斷減小，被密封在齒間容積中的氣體被占據(jù)體積也隨之減小，導(dǎo)致壓力升高，從而實(shí)現(xiàn)氣體的壓縮過程。最后，齒間容積與排氣孔口連通，隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出。